Шалаев, Р.В.; Прудников, А.М.; Варюхин, В.Н.; Турка, В.Н.; Яковец, А.А.; Жихарев, И.В.; Беляев, Б.В.; Грицких, В.А.
(Физика и техника высоких давлений, 2006)
Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при ...